DesignerによるFBAR解析
モデルの説明
FBARをシミュレートすることは、電気機械結合と比較的大きな音響サイズを計算する必要があるため、従来は難しい解析とされてきました。OnScaleでは、これらのデバイスの3次元モデルを時間領域で解析することが可能で、解析により完全なスペクトルを得ることができます。また、OnScaleによるクラウド解析を組み合わせることで、数百の設計シナリオを並行してシミュレーションして、デバイスの最適化を行うことも可能です。
FBARフィルターのCAD形状をDesignerモードで読み込み、OnScaleの解析モデルを作成することができます。
モデル形状
設計諸元
解析で使用するCAD形状はOnShapeで作成しました。以下の設計変数を調整することができます。デフォルトでは、圧電層と電極層の厚さがパラメータとして追加され、Onshapeのパネルからすばやく設定できます。
パラメータ変数 | 説明 | デフォルト値 |
---|---|---|
piez_layer | 圧電層の厚さ | 1.2 µm |
alelec | 電極の厚さ | 220 nm |
airgap | エアギャップの厚さ | 800 nm |
smrbackx | X方向のバッキング層の長さ | 15 µm |
smrbacky | Y方向のバッキング層の長さ | 15 µm |
activex | X方向の電極の長さ | 10 µm |
active y | Y方向の電極の長さ | 10 µm |
出力
このモデルの出力結果のリストを次に示します。
- 電気インピーダンスとアドミタンス
- Q値
- 基本設計のモード形状
Post Processor 3D Outputs
計算時間
要素数 | 114912 elements |
計算時間 | 172 s (4 CPU) |
消費したコア時間 | 0.191 |
メモリ | 42 MB |
推奨するCPU数(並列計算用) | 4 CPU |
CADデータ&プロジェクトファイル
解析モデルでは、次の入力ファイルが必要です。以下をクリックして入力ファイルをダウンロードしてください。
CADファイルは、Onshapeで公開されています。