Stress in cMUT insulating layer 回答済み

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Cyril Meynier

Greetings,
I'm simulating a CMUT device. My silicon nitride layer has build-in thermal stress, more than 200 MPa.

Is there a way to incorporate this stress in the mechanical model, as a property of the layer ? 
It has a very important contribution to the stiffness of the plate. In fact, in order to get the same stifness without thermal stress, i have to double the Young's Modulus. 

thank you in advance

1件のコメント

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    Chloe Allison

    Hi Cyril,

    Unfortunately we do not support pre-stressed materials. 

    Best Regards,

    Chloe

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